Определение натекания вакуумной камеры

1. Термины и определения. 

Вакуум - состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. 

Вакуумная камера - откачиваемый сосуд, часть вакуумной системы в котором создаётся вакуум.

Натекание - проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд что приводит к увеличению давления и ухудшению вакуума.

1 л * мкм рт. ст./с —  величина натекания, равная 1 л/с при давлении в системе 1 мкм или 10–3 мм рт. ст. Т.е. - поток, который вызывает в объеме 1 литр изменение давления на 1 мкм ртутного столба за 1 е.

2. Определение натекания вакуумной камеры.

Натекание определяют на холодной печи, прошедшей дегазацию. Перед проведением натекания, вакуумную печь необходимо держать под разряжением не менее 3-5 часов.

Для определения натекания вакуумной камеры необходимо:

• достичь паспортных значений вакуума в камере;
• по достижении паспортных показателей — изолировать камеру и включить секундомер;
• запись измеренных показаний вести с интервалом 5 минут в течение 20 минут;
• рассчитать натекание по формуле:

• Где Р1 - начальное значение вакуума, Па (мм.рт.ст.);
• Р2 - конечное значение вакуума, Па (мм.рт.ст.);
• t - время испытания на герметичность, равно 1200 с. (20 минут);
• V – общий объем печи, V= 11,5 м³(11500 л).

Данные заносятся в протокол. И сравниваются с паспортными значениями.

Рекомендуемое значение натекания — 8-10 л мкм рт.ст./с.

В отдельных случаях для правильной оценки течи следует учитывать объем.

Дополнительные материалы:

• Методика определения времени достижения вакуума.
• Ремонт вакуумного оборудования.
• Оценка течей вакуумных печей.
• Вакуумная тренировка объема печи.
• Газонепроницаемость и газовыделение материалов в вакууме.
• Водородная болезнь вакуумных камер.
• Вакуумные технологии. Е.П. Шешин.