Диффузионные насосы «НВД». Возможные неисправности и методы устранения

Неисправность Вероятная причина Способ устранения
Не достигается предельное остаточное давление или быстрота действия. Наличие течи в вакуумной системе. Определить место течи. Устранить течь.
Наличие грязи на внутренних стенках насоса. Разобрать насос. Слить рабочую жидкость. Промыть насос. Собрать насос.
Недостаточное охлаждение. Проверить вентилятор охлаждения.
Недостаточное количество рабочей жидкости в насосе. Долить рабочую жидкость.
Перегорел нагреватель. Проверить нагреватель. При необходимости — заменить.
Неисправен датчик вакуума. Проверить вакуум контрольным датчиком.
Ошибка в настройках прибора измерения вакуума. Проверить настройки прибора.