Химическая стойкость оборудования

Рабочая камера является основной частью оборудования. Материал рабочей камеры вакуумного оборудования непосредственно контактирует с химическими веществами, обрабатываемыми в камере.
На странице приведена таблица химической стойкости применяемых марок сталей, применяемых при изготовлении серийных вакуумных камер.

На странице приведена таблица химической стойкости материалов вакуумных клапанов. Таблица позволяет оценить совместимость откачиваемых газов с материалами, применяемыми при изготовлении вакуумных клапанов.