(звонок по России бесплатный)

Горизонтальная установка зонной перекристаллизации



Печь предназначена для зонной плавки - очистки полупроводниковых материалов и редких металлов от примесей, основанных на физических процессах разделения, Преимущество технологии состоит в том, что очистка протекает без использования реагентов, вносимых извне. 

Зонная плавка - кристаллизационный метод очистки заключается в удалении примесей движущимся фронтом кристаллизации. Метод зонной плавки широко применяется для глубокой очистки металлов, полупроводниковых материалов и других веществ.

Подробные характеристики

Купить

Подвижная печь установки зонной перекристаллизации предназначена для термической обработки при температуре до 8500С в стационарных условиях и лабораториях.

Устройство

Изделие представляет собой стационарно закрепленную колбу из кварцевого стекла, в которой расположена лодочка с очищаемым веществом. Колба продувается инертным газом высокой степени очистки. Нагреватель, создающий зону расплавления проходит вдоль лодочки с задаваемой скоростью. В результате движения нагревателя вдоль лодочки зона расплавления перемещается. Нагреватель установлен на модуле линейного перемещения с обратной связью. 

Диапазон скорости движения нагревателя от 1 до 15 см/час. Такое перемещение и широкий диапазон скоростей движения обеспечивается приводом линейного перемещения с шаговым двигателем. Привод имеет обратную связь.

Нагревательный блок подключен через защитный разделительный трансформатор. Для обеспечения чистоты (стерильности) процесса, внутри камеры создается проток чистых инертных газов, что способствует удалению летучих примесей из расплавленной зоны. Расход инертного газа контролируется и отображается на экране контроллера. 

Диапазон измерения потока инертного газа 0,05 до 0,3 л/минуту. Возможно создание в камере избыточного давления или глубокого вакуума.

Для обеспечения экологических требований инертный газ проходит через систему фильтров на выходе из установки.

Управляющий контроллер Trìm5 производства Р.Ф. защищен экраном. Программное обеспечение позволяет устанавливать скорость нагрева, скорость перемещения нагревательного блока, температуру, порог расхода газа и другие параметры. В програме имеется экран графиков с непрерывным логированием параметров.

Работа возможна как в автоматическом, так и ручном режиме.

В системе управления реализовано архивирование параметров работы печи и просмотра записанных параметров в виде графиков.

Все средства измерения установки внесены в Государственный реестр средств измерения РФ. 

Опции

  • Комплект зип
  • Нагреватель для печи.
  • Термопара.
  • Трубка кварцевая.
  • Модуль архивации параметров. Внесен в Госреестр.

Список остальных опций для данного типа оборудования формируется исходя из потребностей заказчика и необходимой комплектации оборудования.


Мощность, кВт, не более
 
1
Напряжение питающей сети, В
 
220±15%
Частота, Гц
 
50
Число фаз
 
1
Максимальная рабочая температура, оС
 
850
Зона нагрева (ширина нагревателя), мм, не более
 
70
Внутренний диаметр нагревательного элемента, мм, не менее
 
100
Диапазон скорости движения нагревателя, см/час
 
1 - 15
Диапазон скорости движения нагревателя, (режим возврата в исходное положение — быстрый ход), см/час
 
200 - 600
Длина хода нагревателя, не менее
 
740
Измерение потока инертного газа.
 
ДА
Диапазон измерения потока инертного газа, л/минуту
 
0,05 до 0,3
Система управления
 
Управление, тип
 
программируемый логический контроллер
Среда программирования
 
SMLogix
Энергонезависимые часы реального времени
 
Есть. Время хранения до 7 лет.
Графический дисплей.
 
TFT Цветной, RGB-24бит TrueColor.
Рабочая зона дисплея (ширина х высота), мм
 
108х64,8
Тип экрана.
 
Мультитач, ёмкостный. Защищен натуральным стеклом, устойчивым к царапинам.
Архивация
 
Есть.
Поддерживаемые интерфейсы связи
 
1 USB-device

Возможно изготовление изделий с любыми размерами, в соответствии с техническим заданием.