Преобразователь вакуумный MTM9D измеряет абсолютное давление в диапазоне 1 000 – 5,0×10⁻⁹ мбар. В устройстве используется комбинированный датчик, включающий термопарный (Пирани) и ионизационный (холодный катод) сенсоры.
Принцип работы термопарного датчика основан на зависимости теплопроводности газа от давления. Нагревательный элемент, включенный в мостовую схему, поддерживает постоянную температуру. Изменение напряжения моста коррелирует с измеряемым давлением.
Ионизационный датчик работает по принципу обращенного магнетрона: под действием электрического разряда молекулы газа ионизируются. Ионный ток пропорционален концентрации молекул и, следовательно, давлению.
Для обеспечения точности измерений рекомендуется стабилизация прибора в течение 5 минут после значительных перепадов давления.
Проблема | Возможная причина | Устранение |
---|---|---|
Высокая погрешность измерений | Загрязннение, износ, экстремальная температура, неправильная регулировка | Повторная регулировка |
0,5 В < выходной сигнал < 1,3 В/"000000" по RS485 | Отклонение от предельного значения диапазона вниз | (давление < 1х10-9 мбар) |
Выходной сигнал < 0,5 В/ "1"по RS485. Постоянно горит красный светодиодый индикатор состояния | Неисправность устройства или датчика | Направьте устройство в ремонт |
"5" по RS485 | Неизвестная кодировка | Проверьте кодировку отправленного сообщения |
"7" по RS485 | Логическая ошибка | В данный момент выполнение команды невозможно |
Невозможно выполнить регулировку нуля | Погрешность измерения выходит за возможный диапазон повторной регулировки | Направьте устройство в ремонт |
Нет показаний давления | Обрыв цепи питания, повреждение датчика | Проверить подключение, заменить датчик |
Некорректные показания в диапазоне Пирани | Загрязнение нити, нарушение калибровки | Очистить датчик, выполнить калибровку в соответствии с инструкцией изготовителя |
Нестабильные показания в ионизационном режиме | Загрязнение электродов, недостаточное высокое напряжение | Произвести очистку |
Отсутствие переключения между датчиками | Сбой электроники, программная ошибка | Перезагрузить устройство. При повторении — замените датчик. |
Превышение времени отклика | Износ сенсора, загрязнение вакуумной системы | Заменить датчик, проверить герметичность системы |
Для точной диагностики и ремонта рекомендуется использовать официальное руководство производителя (доступно в нашем файловом архиве).
Всегда в наличии — комплектующие и расходные материалы для термических вакуумных систем. У нас вы можете приобрести:
Гарантируем соответствие OEM-спецификациям, быструю поставку и техническую поддержку.
Нужна консультация? Оставьте запрос — подберём детали под вашу модель оборудования.