Термины, определения и сокращения

Рабочая камера
Объем или пространство, в некоторой части которого могут быть достигнуты значения температуры в диапазоне, установленном в технических условиях или эксплуатационной документации
Полезный объем или «Рабочий объем»
Часть камеры, в которой можно поддерживать заданные условия при установившемся режиме в пределах установленных допусков.
«Контроллер» или «Регулятор»
Цифровое задающее, измеряющее, регулирующее устройство, поддерживающее заданные значения параметров.
Контрольная точка
Место установки датчика температуры при аттестации рядом с датчиком температуры камеры.
Заданное значение температуры
Требуемое значение температуры, установленное контроллером камеры или другим задающим устройством.
Стабилизация режима (установившийся режим)
Состояние, при котором характеристики колебаний значений основного фактора режима в любой точке полезного объема постоянны.
Характеристики колебаний температуры
Амплитуда и период колебаний температуры точках полезного объема камеры.
Достигнутое значение температуры
Значение температуры, соответствующее заданному, установившееся в камере после стабилизации.
Предельное значение температуры
Верхнее значение температуры для полного диапазона температур, установленных в нормативной или эксплуатационной документации.
Отклонение достигнутого значения температуры
Разность между достигнутым в камере значением температуры (соответствующем заданному) и заданным значением температуры, установленным на контроллере для данного режима.
Градиент температуры
Разность между максимальным и минимальным средними значениями температуры (после стабилизации) в двух любых точках полезного объема камеры. (Ранее применялось понятие "неравномерность распределения температуры".)
Колебания температуры
Различие (после стабилизации) между максимальными и минимальными мгновенными значениями температуры в любой точке полезного объема в течение заданного интервала времени для данного режима.
Скорость изменения температуры
Скорость, в градусах Цельсия в минуту, изменения температуры между двумя ее достигнутыми значениями, измеренными в центре полезного объема.
«Загрузка» или «Садка»
Образец, макет образца или обрабатываемый материал, помещаемый в камеру.
Продолжительность времени тепловой реакции (системы измерения)
Продолжительность времени, которое требуется для изменения показаний датчика (системы измерения) на определенный процент от полного изменения показаний датчика (системы измерения) при ступенчатом изменении температуры среды.
Вакуум
Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного.
Степень вакуума
Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.
Вакуумное масло
Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах.
Вакуумный насос
Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума.
Вакуумная ловушка
Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления.
Натекание
Проникновение газа из окружающей среды в откачиваемый (откачанный) сосуд.
LBA
Loop Break Alarm – авария обрыва контура регулирования.
ВП
Вакуумная печь.
ГК РФ
Гражданский кодекс Российской федерации.
ЗИП
Запасные части, инструменты, приспособления.
ИК
Инфракрасное излучение.
КД
Конструкторская документация.
ПИД
Пропорционально-интегрально-дифференциальный.
ПО
Программное обеспечение.
ПОТ
Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок.
ПС
Паспорт.
РЭ
Руководство по эксплуатации.
И1
Инструкция.
СанПин
Федеральные санитарные правила, нормы и гигиенические нормативы.
ССБТ
Система стандартов безопасности труда (ССБТ). Организация обучения безопасности труда.
ТУ
Техническое условие.
ТП
Термопара (преобразователь термоэлектрический).
ПТЭЭП
Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей.
Степень вакуума
Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.
Низкий вакуум.
От 760 до 25 мм.рт.ст. (от 1×10+5 до 3,3×10+3 Па)
Средний вакуум.
От 25 до 1×10−3 мм.рт.ст. (от 3,3×10+3 до 1,3×10−1 Па)
Высокий вакуум.
От 1×10−3 до 1×10−9 мм.рт.ст. (от 1,3×10−1 до 1,3×10−7 Па)
Сублимация (возгонка)
Переход вещества из твёрдого состояния в газообразное, минуя стадию перехода в жидкое состояние.